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半导体行业废气处理设计方案及废气处理设备

返回列表来源:科瑞昌 发布日期: 2020.06.18 浏览:4

随着我国工业技术的高速发展,其中半导体行业需求也迅速加大,但随之而来也带有VOC废气对大气污染。因为国家近年来对环境治理加大力度,半导体也成分重点治理对象之一。半导体行业对生产车间清洁度要求极高,因此废气排放风量较大、排放浓度小的。今天深圳科瑞昌废气处理设备厂家简单介绍半导体行业废气处理设计方案。

 半导体行业废气处理设计方案及废气处理设备

主要来源于芯片或者是线路板出产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中以及对电路板进行清洗。主要成分有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

 

半导体行业废气处理解决方案:

 

(1)预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。

(2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有: UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。

 

这几种方式各有优劣,根据大多数电子厂废气的情况,在这里我们主要推荐和介绍活性炭吸附设备+催化燃烧设备去除VOCs气体的方案。

 

以上是介绍了半导体行业废气处理解决方案。深圳科瑞昌废气处理设备厂家根据客户现场勘查收集的信息,来制定合理的收集+VOC废气处理设备,这样才能保证废气的净化效果,我们有上百家的废气处理工程案例可以让客户现场进行考察,或者直接与我们联系,让我们技术人员现场为您设计废气处理方案和报价

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